新华社北京6月29日电(记者乌梦达、赵旭)“100年,中国‘芯’”。在庆祝中国共产党建党百年之际,北京航空航天大学科研事情者在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下这几个字。这个厚度相当于一张普通打印纸的十万分之一。 6月24日,在北京航空航天大学,集成电路学院科研人员在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“100年”。新华社记者 鞠焕宗 摄 磁性芯片出产进程中,需将纳米磁性薄膜匀称铺在晶圆(建造硅半导体集成电路所用的衬底)上。确保所有晶圆完全“躺平”有多灾?北航集成电路学院工艺与装备系西席张学莹暗示,其相当于在北京的海淀区地面上匀称铺满5层厚的小米粒,且须完全平整,“因此,检测薄膜的平整度尤为要害。” 张学莹先容,科研人员操作检测仪器,通过微小的磁性针尖在薄膜上写字,若字的颜色比拟度一致、笔迹清晰,则表白薄膜有精采的匀称性。完成平整度检测后,将纳米薄膜制成器件,封装后形成芯片。 6月24日,在北京航空航天大学,集成电路学院科研人员(前)在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“中国芯”。新华社记者 鞠焕宗 摄 该检测仪器,正是由北航集成电路学院科研团队研发的晶圆级磁光克尔测试仪。 北航集成电路学院工艺与装备系主任王新河说,磁性芯片可作为高靠得住的信息存储模块和高敏捷的磁信号传感模块,应用于飞机、卫星的节制系统,以及手机电子罗盘、汽车自动驾驶等规模。而磁性芯片出产进程中的磁性薄膜检测这一要害技能,属于我国恒久被“卡脖子”的技能。 “比拟海外同类设备,这台仪器在测试精度和速度等方面举办了技能革新,实现了自主创新打破。”王新河说。 6月24日,在北京航空航天大学,集成电路学院科研人员在用磁性笔尖检测纳米薄膜的磁性。新华社记者 鞠焕宗 摄 据相识,该仪器现已应用于科研规模,且估量于本年10月在财富规模投入商用。 早在1993年,中国科学院科研团队就用10个原子摆出“中国”字样,符号着我国可自主实现原子哄骗。如今,用于书写“100年,中国‘芯’”的晶圆级磁光克尔测试仪,为具有百亿元市场局限的磁性芯片财富提供设备支撑。 从“中国”,到“100年,中国‘芯’”,背后的科研打破成为我国高科技自主创新本领不绝晋升、国度科技气力一连加强的一个缩影。 “作为科研一线的下层党员,我以为扎实搞研究、实现创新打破,即是我们对建党百年最好的献礼。”张学莹说。 |