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【TechWeb】5月27日动静，泰晶科技最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备—全自动晶圆调频及测选机，克日又取得新打破，该设备合用于光刻晶圆频率调解及分测，共同基于半导体技能的光刻制程量产及质量晋升。
该设备回收特定的光谱代替原有光源，利用全新的测试线路及丈量方法，大幅提高了设备的精度及效率。今朝利用设备频率调解精度可达±5PPM，及格率98.5%以上，各项指标到达国际先历程度。拥有自主常识产权的设备研发，颠末设备进级，可加工更小型的1毫米系列产物。
该设备的研发乐成不只极大提高了产物品质及出产效率，并且设备机能优势获得日本同行的高度承认。今朝已交付多套给某全球著名同行，获得该全球巨头同行的高度评价。
早在十一年前，泰晶科技险些与全球巨头同步开展半导体光刻工艺在压电晶体行业的研究，同时开始一系列相关装备的自主研制。几十道工序的半导体工艺要害装备，颠末近十代设计更新换代，已开始列装出产一线，一系列半导体光刻工艺设备随产物制程工艺同步研发，在高精度、自动化水平上不绝进级优化。 |
